微型LED是以柔克刚下一代高端呈现技术的核心元件，搭载微型LED的国科晶圆必须达到100%的良率，否则将会给终端产品造成巨大的研人员填修复成本。然而，补微xm外汇官网开户业界却一直没有找到晶圆接触式无损检查的晶圆技术好方法。近日，无损我国科研人员用“以柔克刚”的测试方法填补了这一技术空白。

旧有的空白晶圆良率检查方法有的如“铁笔刻玉”，会造成晶圆表面不可逆的以柔克刚物理损伤；有的则只能“观其大概”，存在较高的国科漏检率和错检率。良率无损检查的研人员填xm外汇平台官网入口技术空白严峻阻碍了大面积呈现屏、柔性呈现屏等微型LED终端产品的补微量产。

近日，晶圆技术天津大学精密测试技术及仪器全国核心实验室、无损精仪学院感知科学与工程系黄显教授团队打破了微型LED晶圆测试瓶颈，测试实现了微型LED晶圆高通量无损测试，xm外汇平台官网网址研究成果于13日在国际学术期刊《自然-电子学》刊发。

研究团队第一次倡导了一种基于柔性电子技术的检查方法，该方法构建的三维架构柔性探针阵列，凭借其“以柔克刚”的特性能对测量对象表面形貌进行自适应形变，并以0.9兆帕的“呼吸级压力”轻触晶圆表面。

“该技术的探针接触压力仅为旧有刚性探针的万分之一，不但不会造成晶圆表面磨损，也降低了探针本身的磨损，探针在100万次接触测量后，依然‘容颜如初’。”黄显说。

此外，团队还研发了与三维柔性探针相匹配的测量平台。通过探针和检查平台的协同工作，为微型LED产品的高效工艺运维和良品筛选供给关键软件。

“我们实现了从零到一的突破，填补了微型LED电致发光检查的技术空白，也为其他复杂晶圆检查供给了革命性技术计划，随着探针阵列规模与检查通道的连续拓展，将来或将在晶圆级集成检查、生物光子学等领域产生更普遍作用。”黄显说。

据悉，目前该技术已在天开高教科创园开启产品化进程，将来将为国内微型LED产业供给批量化、无损、低成本的检查处理计划，进一步拓展柔性电子技术的软件领域。